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综合特点
  • 几个系统都被设计成只夹取晶圆边缘部分无效区域,根据工序和晶圆直径的不同,和exclusion区域保持小于3mm的距离
  • 特别的针对MEMS产品,我们设计了多款工具和模块用来保证不接触晶圆背面.


自动化
  • 支持工厂自动化物料搬运系统 (AMHS), 例如 E84 (OHT/AGV), SECS/GEM interface, Cassette- and FOUP-ID readers (RF based)
  • Sample-ID readers for OCR, barcode and T7 dot matrix


遵循标准
  • 完全遵守SEMI极其相关标准, 包括S2/S8
  • CE 整合 (多系统多模块)遵从 UL/CSA 标准 允许.我们的设备在世界范围内使用. 如果需要,我们也遵守其他区域或客户的标准.
  • 仅需要电力,压缩气体和真空.在洁净室内不需要其他特殊介质.