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綜合特點
  • 幾個系統都被設計成隻夾取晶圓邊緣部分無效區域,根據製程和晶圓直徑的不同,和exclusion區域保持小於3mm的距離
  • 特別的針對MEMS產品,我們設計了多款工具和模組用來確保不接觸晶圓背面。


自動化已經就緒
  • 支援工廠自動化系統 (AMHS), 例如 E84 (OHT/AGV), SECS/GEM interface, Cassette- and FOUP-ID readers (RF based)
  • Sample-ID readers for OCR, barcode and T7 dot matrix


遵循標準
  • 完全遵守SEMI及其相關標準, 包括S2/S8
  • CE 整合 and (多系統多模組)遵從 UL/CSA 標準允許.我們的設備在世界範圍內使用。 如果需要,我們也遵守其他區域或客戶的標準.
  • 僅需要電力,壓縮氣體和真空。在無塵室內不需要其他特殊介質.‎