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Diese Module und Systeme sind nicht mehr Bestandteil des aktuellen Produktportfolios von HSEB. Selbstverständlich bieten wir im Rahmen unserer Verträge und gesetzlicher Vorschriften immer noch Service und Ersatzteile dafür an. Unsere Serviceabteilung ist Ihnen hier gern behilflich.

Axiospect 201
  • Halbautomatisches Waferinspektionssystem für 150 mm und 200 mm
  • Nicht mehr im Programm seit 31.12.2009
  • Nachfolgesystem ist die Axiospect 202
  • Ersatzteile und Verbrauchsmaterial sind verfügbar


ZML 200
  • Waferhandler für Axiotron 2-Mikroskope
  • Erlaubte sehr flexiblen Einsatz des Axiotron 2 als Tischgerät
  • Rückseiten-Makro-Inspektion
  • Einfaches intuitives Bedienfeld


Axiospect 200, AxioWis
  • Halbautomatisches Waferinspektionssystem für 150 mm und 200 mm
  • Nicht mehr im Programm seit 01.06.2006
  • Nachfolgesystem war die Axiospect 201
  • Ersatzteile und Verbrauchsmaterial sind verfügbar


Axiosprint
  • Ergonomisch designtes visuelles Inspektionssystem für 150 mm und 200 mm wafer.
  • Basiert auf Axiotron 2 Mikroskop.
  • Automatischer Wafertransfer von der Kassette zum Probentisch und zurück.
  • Berührungslose Zentrierung und Ausrichtung.
  • Zielkassette abhängig vom Inspektionsergebnis wählbar.