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这些工具的一部分不是由HSEB实际生产.但是我们可以提供技术,服务和零配件支持.请联系我们的技术服务部门去查询.

Axiospect 201
  • 150 mm和 200 mm半导体晶圆检查设备.
  • 已于2009年10月1日停产
  • 完全被新机型Axiospect 202.取代.
  • 零配件及耗材仍保持供应.


ZML 200
  • 使用Axiotron 2 显微镜的桌面型wafer loader.
  • 微观选择展现充分的灵活性.
  • 晶背宏观检查.
  • 方便的控制面板.


Axiospect 200, AxioWis
  • 150 mm 和200 mm半导体晶圆自动检查设备
  • 已于2006年6月1日停产
  • 已被更新的Axiospect 201取代.
  • 零配件和耗材仍保持提供.


Axiosprint
  • 符合人体工程学设计的150mm和200mm晶圆视觉检查系统.
  • 基于 Axiotron 2 显微镜.
  • 晶圆从 cassette 到样品台并返回完全自动化传送
  • 无接触式确定中心和预校准.
  • 根据检查结果可选目标cassette.