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這些工具的一部分不是由HSEB實際生產。但是我們可以提供技術,服務和零配件支援。請聯繫我們的技術服務部門去查詢。

Axiospect 201
  • 150 mm和 200 mm半導體晶圓檢查設備。
  • 已於2009年12月31日停產
  • 完全被新機型Axiospect 202取代。
  • 零配件及耗材仍保持供應。


ZML 200
  • 使用Axiotron 2 顯微鏡的桌面型wafer loader.
  • 微觀選擇展現充分的靈活性.
  • Back side Maro檢查.
  • 方便的控制台.


Axiospect 200, AxioWis
  • 150 mm 和200 mm半導體晶圓自動檢查設備
  • 已於2006年6月1日停產
  • Axiospect 201 取代這些設備.
  • 零配件和耗材仍保持提供.


Axiosprint
  • 符合人體工程學設計的150mm和200mm晶圓視覺檢查系統.
  • 基於 Axiotron 2 顯微鏡.
  • 晶圓從 cassette 到樣品台並返回完全自動化傳送
  • 無接觸式確定中心和預校準.
  • 根據檢查結果可選目標cassette。