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Axiospect 202

Optisches Inspektions- und Review-Tool für 150 mm und 200 mm.
Für Vorder- und Rückseiteninspektion.‎
Besonders geeignet für MEMS-Anwendungen und Metrologie.

Eigenschaften
  • Vielseitig einsetzbares Inspektions- und Review-Tool für 150 mm und 200 mm mit zwei Kassettenplattformen
  • Geeignet für SMIF- und non-SMIF-Umgebungen.
  • Als Vorderseiten- oder Vorder-/Rückseitensystem konfigurierbar.
  • Im Waferhandler integriertes Flipmodul ermöglicht hohen Durchsatz.
  • Waferhandling ist per Vakuum oder per Kantengreifer möglich.
  • Handling mittels Vakuum ist besonders geeignet für Standardanwendungen mit hohem Durchsatz und attraktivem Preis.
  • Kantengreifende Systemkonfigurationen (auch auf dem Prealigner) sind besonders für kontaminationsfreie Waferbewegungen und bei Inspektionen der Rückseite geeignet.
  • Sorterfunktion, auch mit Waferdrehung auf die Rückseite.
  • Optische Mikroskope der Spitzenklasse mit Optik von Carl Zeiss erlauben alle gängigen Kontrastverfahren, darunter Weißlicht-konfokale und UV-Mikroskopie. Hier finden Sie nähere Details.
  • Makroskopische Inspektion mit homogener Hellfeld- und superheller Dunkelfeldbeleuchtung sowie optionaler Defektdokumentation
  • Verschiedene Metrologieoptionen, wie z.B. CD- und Schichtdickenmessung .
  • Einheitliche ausgereifte Softwareplattform für alle Systeme und Optionen.
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