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Axiospect 202

150/200 mm 光学检查 和review 工具.
晶面和晶背检测.‎
特别适合 MEMS 应用和量测.

特点
  • 高级 150/200 mm 光学检查和复检工具 并支持四 cassette platforms. ‎‎
  • 适用于 SMIF- 及无SMIF 环境.
  • 系统构造适合晶面及晶背抓取方式.
  • 机器手臂上一体化的翻转结构确保高产能.
  • wafer传送手臂系统有真空或晶边抓取模式
  • 真空吸取系统作为标准配置有着高产能和极具吸引力的价格优势.
  • 晶边抓取系统(包括 prealigner)确保晶背零污染.‎
  • Sorter( 排片)功能, 并具备晶圆翻转功能.
  • 高端Carl Zeiss显微镜提供各种常用的光学视觉模式, 包括 白光共轭焦 紫外线显微镜. 请阅读 这里 了解更多详细信息
  • 宏观检测 具备同质明场及超明暗场照明 缺陷影像儲存分类 可选组件.
  • 多重量测选项可供选择, 例如 CD量测膜厚 量测.
  • 独立成熟的软件平台适用于所有系统和所有可选组件.
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