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Axiospect 202

150/200 mm 光學檢查 和review 工具.
晶面和晶背檢測.‎.‎
特別適合 MEMS 應用和檢查量測.

特點
  • 高階 150/200 mm 光學檢查 and review tool 並有最多可提供到四個 ‎cassette platforms
  • 適用於SMIF- and non-SMIF environments.
  • 系統構造提供適用於晶面及晶背抓取方式.
  • 確保高產能我們在機械手臂設計上結合有翻轉的模組..
  • wafer傳送手臂系統有真空或晶邊抓取模式.
  • 真空吸取系統作為 標準配置有著高產能和極具吸引力價格的優勢.
  • 晶邊抓取系統(包括prealigner) 確保晶背零污染.
  • Sorter( 排片)功能, 並具備晶圓翻轉功能.
  • 高階Carl Zeiss顯微鏡提供各種常用的光學視覺模式, 包括白光共軛焦視覺 及紫外光顯微鏡. 請閱讀這裡 更詳細資訊
  • 強光檢測具備同性質明視野及超明亮暗視野照明缺陷影像儲存 選配. ‎‎
  • 多種量測套件可供選項, 例如 CD量測膜厚 測量.
  • 單一量測軟體適用於所有系統和選項.
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