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Axiospect 301

Optisches Inspektions- und Review-Tool für 300 mm.
Für Vorder- und Rückseiteninspektion.‎
Vor allem geeignet für Litho und OQA.

Eigenschaften
  • Nachfolger des weit verbreiteten und zuverlässigen 300 mm Inspektions- und Review-Tools Axiospect 300.
  • Als Vorderseiten- oder Vorder-/Rückseitensystem konfigurierbar.
  • Im Waferhandler integriertes Flipmodul ermöglicht hohen Durchsatz.
  • Waferhandling ist per Vakuum oder per Kantengreifer möglich.
  • Handling mittels Vakuum ist besonders geeignet für Standardanwendungen mit hohem Durchsatz und attraktivem Preis.
  • Kantengreifende Systemkonfigurationen (auch auf dem Prealigner) sind besonders für kontaminationsfreie Waferbewegungen und bei Inspektionen der Rückseite geeignet.
  • Sorterfunktion, auch mit Waferdrehung auf die Rückseite.
  • Optische Mikroskope der Spitzenklasse mit Optik von Carl Zeiss erlauben alle gängigen Kontrastverfahren, darunter Weißlicht-konfokale und UV-Mikroskopie. Hier finden Sie nähere Details.
  • Makroskopische Inspektion mit homogener Hellfeld- und superheller Dunkelfeldbeleuchtung sowie optionaler Defektdokumentation
  • Verschiedene Metrologieoptionen, wie z.B. CD- und Schichtdickenmessung .
  • Einheitliche ausgereifte Softwareplattform für alle Systeme und Optionen.
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