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Axiospect 301

300 mm 光学检测和 review 工具.
晶面及晶背检查功能.‎
理想使用于 Litho 和 OQA.

特点
  • 秉承了Axiospect 300 300 mm 检测 及review tool 可靠性.
  • 系统构造支持单独晶面或晶面和晶背抓取.
  • 机械手臂上一体化的翻转模块确保高产能.
  • 具备真空吸取及晶边抓取的系统构造.
  • 真空吸取系统作为 标准配置有着高产能和极具吸引力的价格优势.
  • 边缘抓取 系统(包括prealigner) 保证晶背零污染.
  • Sorter 功能, 并具备晶圆翻转功能.
  • 由卡尔蔡司提供的高端显微镜支持现有的所有视觉观察模式, 包括 白光共轭焦 紫外线显微镜. 请阅读 这里 了解更多信息.
  • 宏观检测 具备同质明场及超明暗场照明 缺陷影像存储 可选组件.
  • 多重量测选项可供选择, 例如 CD量测膜厚 量测.
  • 独立成熟的软件平台适用于所有系统和选项.

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