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Axiospect 301

300 mm optical inspection and review tool.
晶面及晶背檢查功能.
理想使用於 Litho 及 OQA.

特點
  • 傳承優良己確立的300 mm 檢測 及review tool 可靠性Axiospect 300.
  • 系統構造有單獨晶面或晶面及晶背抓取兩種.
  • 確保高產能我們在機械手臂設計上結合有翻轉的模組.
  • 具備真空吸取及晶邊抓取的系統構造.
  • 真空吸取系統作為 標準配置有著高產能和極具吸引力價格的優勢.
  • 晶邊抓取系統(包括prealigner) 確保晶背零污染
  • Sorter( 排片)功能, 並具備晶圓翻轉功能.
  • 高階Carl Zeiss顯微鏡提供各種常用的光學視覺模式, 包括 白光共軛焦視覺及紫外光顯微鏡. 請閱讀 這裡更詳細資訊
  • 強光檢測 具備同性質明視野及超明亮暗視野照明 缺陷影像儲存選配.
  • 多種量測套件可供選項, 例如 CD 量測膜厚量測.
  • 單一量測軟體適用於所有系統和選項.

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