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Schichtdickenmessung

Zerstörungsfreie Dickenbestimmung transparenter, auch vergrabener Schichten
Inhärent genaues Meßprinzip macht keine speziellen Kalibrierproben erforderlich
Schnelles Verfahren, auch geeignet für die 100%-Kontrolle

Eigenschaften
  • Schnelle, zerstörungsfreie Methode, um dünne transparente Schichten im Bereich von 100 nm ... 150 µm zu messen (abhängig von ihren optischen Eigenschaften kann sich der Bereich ändern).
  • Erweiterung zu allen Axiospect-Systemen und stand-alone Axiotron 2 Mikroskopen
  • Anwendungen bei integrierten Schaltungen: Resist, Oxid, Nitrid, Metallen, III-V Materialien usw.
  • Anwendungen bei MEMS: Siliziummembranen, vergrabene Kavernen usw.
  • Software ermöglicht Simulation von Messungen und einfache Analyseoptionen
  • Erforderliche Materialdaten können einfach aus Nachschlagewerken ermittelt oder (bei proprietärem Material, wie Photoresist) vom Hersteller erfragt werden (z.B. Cauchy-Koeffizienten)
  • Kann sowohl manuell als auch vollautomatisch betrieben werden


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