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Axiotron 300 Mikroskop

Reinraumtaugliches Mikroskop der Spitzenklasse für 300 mm Wafer.
Eingebauter optischer Zoom.
Vollständig motorisiert und fernsteuerbar.

Unterstützte Kontrastverfahren (einige sind optional erhältlich)
  • Hellfeld (VIS, NIR, 365 nm, 248 nm)
  • Dunkelfeld
  • Differentieller Interferenzkontrast nach Nomarski
  • Echtzeit Weißlicht-Konfokalmodus (CSM, siehe auch hier)
  • Fluoreszenz
  • Polarisationsmikroskopie

Geräteausstattung
  • 5-fach Objektivrevolver
  • 6-fach Reflektorrevolver
  • Integrierter optischer Zoom (0.4x ... 1.4x)
  • Integrierter Fokustrieb mit 2 mm Hub; grössere Abstandskorrekturen erfolgen mittels Verstellfüßen
  • Zwei unabhängige Lampenports ermöglichen den direkten Anschluß von zwei Lichtquellen
  • Aufrechtes, seitenrichtiges Bild mit 18 mm Zwischenbilddurchmesser
  • Kamerabasiertes Mikroskop, kein Okulareinblick
  • Präzisionsgefertigtes, stabiles Metallstativ. Kritische Komponenten sind stets aus Metall und nicht aus Plastik

Bedienschnittstellen
  • Vorprogrammierbare Einstellungen für optimal angepaßte Einstellungen von Licht, Apertur, Zoomfaktor, Feldblende und DIC-Analysator
  • Bedienung mittels ergonomischem, augenblicklich reagierendem Bedienpult. Keine Touchscreens, keine Wartezeiten zur Initialisierung von Dialogen
  • Fernbedienung per CAN-Bus and RS232 möglich

Optionen
  • Erweiterbar für Durchlichtbetrieb in VIS und NIR.
  • Zweistrahl-Laser-Autofokus
  • Integriertes Weißlicht-Konfokalmodul
  • Einfache Integration eines Schichtdickenmessystems
KONTAKTFORMULAR
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