Image without information

CD量测

基于数码相机。‎可以量测特定角度,距离,以及线或圆等其他特征标的物.
微米级识别能力.
快速响应及详细的recipe配置.

特点
  • 快速可靠的高敏感影像系统.
  • 重复性测量误差小于0.1%.
  • 高精度显微镜拍摄的影像解析度通常小于800 nm.
  • Recipe可以设定和存储所需的人机交互设定参数.
  • 值得信赖的自动对焦和图案识别校准程序.


CD 量测
  • 基于影像量测软件测量横向的线性结构.
  • 支持量测特征尺寸,特征间距和叠加偏移.


孔径量测
  • 影像可量测圆形和八角形结构.
  • 支持量测同心结构的直径和便宜(例如 八角形及内圆).
  • 定制解决方案可以通过您寄送来的CD影像为您编辑您所需要的算法.


TSV / Alignment Mark Check / Double CD 量测
  • Add-On for CD 量测 (见上文).
  • 量测不同样品高度间的特征距离.
  • 易于高宽比的量测.
  • 理想的整合了红外线显微镜用来判断Overlay表层和底层结值.
  • Alignment mark可在one "shot" 中完成.
留下信息
产品详细信息请点击