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CD 量測

Camera-based 可以量測特定角度,距離,以及線或圓等其他特徵標的物.
出色的再現性在micron range.
快效能及有詳細的recipe結構.

等點
  • 快速可靠的高敏感影像系統.
  • 重複性測量誤差小於0.1%.
  • 高精度顯微鏡拍攝的影像解析度通常小於800 nm.
  • Recipe可以設定和儲存所需的參數設定.
  • 值得信賴的自動對焦和圖案識別校準程式.


CD 量測
  • 基於影像量測軟體測量橫向的線性結構.
  • 可量測特徵尺寸,特徵間距和堆疊偏移.


孔徑量測
  • 影像可量測圓形和八角形結構.
  • 可援量測同心結構的直徑和偏移(例如 如八角形及內圓).
  • 我們為客戶定制解決方法己成功,可以通過您寄送來的CD影像為您編輯所需要的方案.


TSV / Alignment Mark Check / Double CD 量測
  • Add-On for CD 量測 (見上文).
  • 量測不同樣品高度間的特徵距離.
  • 易於高寬比的量測.
  • 理想的整合了紅外線顯微鏡用來判斷Overlay表層和底層結值.
  • Alignment mark可在one "shot" 中完成.
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