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Defektdokumentation

Einfaches Markieren von optisch erkannten Defekten durch einfachen Klick ins Bild
Software-Erweiterung zur Makro-Station
Koordinatenexport im KLA-Format

Eigenschaften
  • Optionale Erweiterung für die Makro-Station
  • Automatische Dokumentation von Makrodefekten unter genau den gleichen Betrachtungsbedingungen wie jenen, unter denen der Bediener den Wafer sieht
  • Kartesische (x/y) Koordinaten werden immer berechnet, unabhängig von der aktuellen Waferposition (Neigung, Rotation)
  • Ein "transparenter Wafer" Schalter ermöglicht die Anzeige von zuvor registrierten Defekten auf der gerade nicht sichtbaren Seite
  • KLARF-Export ermöglicht bequemes Makro-Defekt-Review, z.B. auf einem Mikroskop; die KLA-Informationen enthalten alle notwendigen Angaben für eine Rückseiteninspektion
  • Manuelle Defektklassifikation mit Hilfe einer toolweit gültigen Defektcodeliste ist möglich
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