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缺陷影像存储

轻松点击录入肉眼可见缺陷.
软件支持手动Macro.
坐标输出为KLA 格式.

特点
  • 可选安装 HSEB macro station.
  • 同操作者一样的精准观察条件自动存储宏观缺陷.
  • 不论晶圆位置 (倾斜角度, 旋转)都可以精确的计算出缺陷的坐标位置.
  • 可以呈现晶圆另一面已经发现的缺陷位置.
  • 宏观缺陷以KLARF格式输出,方便在显微镜下Review;该文件格式同时包括晶背缺陷信息.
  • 通过客户定义的缺陷列表手动归类缺陷类型.
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