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缺陷圖像儲存

輕鬆點入肉眼就可見缺陷.
軟體支援手動Macro.
座標輸出為KLA 格式

特點
  • 可選安裝 HSEB macro station.
  • 如同operator一樣的精確觀察條件自動影像儲存強光缺陷
  • 不論晶圓位置 (傾斜角度, 旋轉)都可以精確的計算出缺陷的座標位置.
  • 可以呈現晶圓另一面已經發現的缺陷位置.
  • 強光缺陷以KLARF格式輸出,方便在顯微鏡下Review;該檔案格式同時包括晶背缺陷資訊.
  • 通過客戶定義的缺陷清單手動歸類缺陷類型
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