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Labormikroskop für 300 mm

Reinraumtaugliches Hochleistungsmikroskop für große Objekte.
Manuelle Beladung.
Kundenspezifische Probenhalter für flexible Anwendbarkeit.

Eigenschaften
  • 300 mm-Variante des zuverlässigen Axiotron 2- Mikroskops
  • Alle Kontrastverfahren wie beim Axiotron 2 verfügbar.
  • Robustes Metallstativ für minimale Schwingungsanfälligkeit.
  • Manueller oder motorisierter Probentisch mit 300 mm Verfahrweg mit verschiedenen Auflicht-Waferhaltern.


Halbautomatische Systemvariante: Axiotron 2 LM
  • Systemarbeitsplatz für die Inspektion von 300 mm Wafern.
  • Manuelle Beladung.
  • Verwendung eines Polarkoordinatentischs ermöglicht minimale Grundfläche.
  • Optischer Durchlicht-Notchfinder.
  • Axiotron 2 OEM für die Kontrastverfahren BF, DF, DIC und Fluoreszenz.
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