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實驗室用的300mm顯微鏡

高階無塵室顯微鏡.
手動樣品載台.
客制化樣品基座滿足最靈活的需求.

特點
  • 可靠的300mm系統 Axiotron 2 顯微鏡
  • Axiotron 2 提供所有的光學視覺模式.
  • 堅固金屬本體支撐帶來最小的震動傳遞.
  • 具備多種反射光視覺模組還有手動及自動化樣品載台.


半導體半自動化結構: Axiotron 2 LM
  • 300mm晶圓檢測工作站.
  • 手動載台.
  • 內置旋轉和自動校準夾具 (使用座標校正系統) 確保較小的機台尺寸
  • 透射光探測器校準Notch系統.
  • Axiotron 2 OEM 有明視、暗視、干涉相位差及螢光視覺功能
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