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MIT 301

OEM-Makroinspektionsmodul im Loadport-Format.
Auch verfügbar in einer Variante zur Maskeninspektion.


Eigenschaften
  • BOLTS/IMM Interface gemäß SEMI E131 erlaubt einfache Integration in Tools von Drittanbietern.
  • Wesentlicher Bestandteil ist die HSEB Makrostation mit kardanischer Probenaufhängung und zwei unabhängigen Beleuchtungen für Hell- und Dunkelfeld.
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