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MIT 301

OEM 宏观检查套件.
也有适用与光罩检查的版本.


特点
  • 根据 SEMI E131设计的BOLTS/IMM 接口允许方便的加载第三方工具
  • Comprises HSEB 宏观单元 装备一个万向支架和两套独立的明场和暗场照明系统
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