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MIT 301

OEM 宏觀檢查套件.
也有適用於與光罩檢查的設計.


特點
  • 根據 SEMI E131設計的BOLTS/IMM 介面允許方便的載入協力廠商工具.
  • Comprises HSEB 強光套件裝備一框架和兩套獨立的明視野和暗視野照明系統
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