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Reine Kanten- oder Makro-Tools

Abgeleitete Systeme aus der ‎modularen Axiospect-Familie.
‎Enthalten ausschliesslich die ‎benötigten Funktionen.
‎Typische Konfigurationen: "nur ‎Makro" und "nur Kante".

Eigenschaften
  • Sind normalerweise ohne Mikroskop ‎konfiguriert
  • Halbautomatische Kanten- oder ‎Makroinspektion mit ‎Defektdokumentation
  • Anwendungssoftware, Anbindung ‎an SECS/GEM, E84 etc. wie bei ‎Axiospect-Systemen

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