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仅宏观检查 / 仅边缘检查工具

衍生自高模块化的Axiospect系统.
包含紧有实际应用的模块.
典型配置:“仅边缘检查”和“仅宏观检查”.

特点
  • 无显微镜模块.
  • 自动边缘及宏观检查,并含缺陷信息整理功能
  • 与SECS/GEM, E84 相同应用软件和能力.
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