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晶面檢查 / 僅邊緣檢查工具

衍生自高模組化的Axiospect系統。
包含現有實際應用的模組。
典型配置:“僅邊緣檢查”和“晶面檢查”。

特點
  • 無顯微鏡模組。
  • 自動邊緣及晶面檢查,並含缺陷資訊整理功能
  • 與SECS/GEM, E84 相同應用軟體和能力.

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