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ODIN

Vollautomatisches High-‎End Makro-‎Inspektionssystem (AOI) ‎für die Wafervorder- und ‎Rückseite
Best-in-class bei ‎Empfindlichkeit und ‎Durchsatz, ODIN erzielt ‎die mit Abstand ‎niedrigsten ‎Betriebskosten
Integrierte optische ‎Review- und ‎Metrologiefunktionen


Eigenschaften

  • Vollflächeninspektion von ‎strukturierten und ‎blanken Wafern, ‎Waferkanten und ‎Rückseiten
  • Sehr hoher Durchsatz bei hoher Empfindlichkeit
  • Detektion von 1 µm ‎Defektgrösse bis zu ‎Ganzwafereffekten
  • Einfachste ‎Rezepterstellung
  • Vollflächeninspektion, ‎ROI-und Einzel/Partial-‎Die-Inspektion
  • Hochentwickelte ‎Metrologiepakete für Advanced Packaging
  • Hochmodulares System, ‎kombinierbar mit WOTAN- ‎und THOR-Optionen

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