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ODIN

晶圆正面和背面高端全自动光学检测(AOI)系‎统.‎
不仅世界一流灵敏度和检测速度,还是业界最低的运营成本
结合光学复检和量测功能

主要特色

  • 全晶圆检测晶图和裸晶圆及晶边和晶背检测.‎
  • 同时保有高速和高灵敏度
  • ‎1微米的探测晶圆级缺陷能力
  • 简易菜单设定
  • ‎100 %的表面检测,快速‎投资回报/部分die观察
  • 先进的检测组合套件, 适用于先进封装 ‎
  • 高度模块化系统,并且适用于WOTAN和THOR 机型
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