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ODIN

晶圓正面和背面高端全自動光學檢測(AOI)‎系統.‎
不僅是世界一流靈敏度和檢測速度,還是業界最低的運營成本
結合光學複檢和量測功能

主要特色

  • 晶圖和裸晶圓全檢及晶邊和晶背檢測.‎
  • 同時保有高速和高靈敏度
  • ‎1微米的探測晶圓級缺陷能力
  • 簡易菜單設定
  • ‎100 %的表面檢測,快速投資回報/部分die觀察
  • 先進的檢測組合套件, ‎適用於先進封裝 ‎
  • 高度模組化系統,並且適用於WOTAN和THOR ‎機型


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