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THOR

Vollautomatisches ‎Kanteninspektionssystem ‎mit hohem Durchsatz und ‎integrierter EBR-Messung
Abdeckung aller fünf ‎Kantenzonen
Niedrigste COO erlaubt ‎‎100%ige Überwachung von ‎Produktion und ‎Prozesstools ‎


Eigenschaften

  • Erhältlich Stand-Alone und ‎als Modul für ODIN, ‎WOTAN und AXIOSPECT
  • Auch verfügbar als einfach ‎integrierbares OEM-Modul
  • Defektinspektion auf Flat, ‎Bevel und Apex (Partikel, ‎Handling Marks, ‎Ausplatzer, Delaminierung ‎usw.)‎


Hochentwickeltes ‎Metrologiepaket

  • Simultane Vermessung ‎mehrerer EBR-Linien
  • Defektdetektion und ‎Vermessung auf blanken ‎und überprinteten Wafern
  • Überwachung der WEE

KONTAKTFORMULAR
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