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THOR

高速全自动的晶边和EBR ‎测量
全面覆盖晶圆所有五个边缘的区域
业界最低运营成本,全厂区生产和设备监控

主要特色

  • 可提供单机,并可成为ODIN , WOTAN和AXIOSPECT升级模块
  • 易于集成OEM模块
  • 在平面,晶圆斜边和顶端‎(颗粒,传送过程痕迹, ‎chipouts ,脱层等)缺陷‎检测


先进的检测套件

  • 多样性的EBR线性测量
  • 未曝光区及双重曝光重迭区域的测量和侦测及
  • WEE的监控

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