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WOTAN

Vollautomatisches ‎optisches Hochdurchsatz-‎Inspektionssystem (AOI)‎
Speziell geeignet für OQA, ‎Einzelprozesskontrolle ‎und Toolüberwachung zu ‎geringsten COO
Rezeptfreier Betrieb


Eigenschaften

  • Branchenhöchster ‎Durchsatz in der <20 µm-‎Klasse
  • Gleichzeitiger Scan von ‎Vorder- und Rückseite; ‎optionale ‎Kanteninspektion
  • Für die 100% Prozess- und ‎Toolkontrolle
  • Kombinierbar mit ODIN ‎und THOR.‎

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