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WOTAN

高速全自动光学检测‎(AOI) 系统‎
在于最低的运营成本,致力于OQA 的偏离控制,‎全厂区及制程设备监控
无需菜单式的运转模式


主要特色

  • 业界中最高速度<20微米的分辨率
  • 同时检测晶圆正面和背面扫描,并有边缘检测的升级选项
  • ‎100%偏离控制‎
  • 与ODIN和THOR 机型相互链结
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