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WOTAN

高速全自動光學檢測‎(AOI )系統‎
在於最低的運營成本,‎致力於OQA 的偏離控制,全廠區及制程設備監控 ‎
無需建立recipe

主要特色

  • 最高的速度在業界<20‎微米的分辨率
  • 同時檢測晶圓正面和背面掃描,並有邊緣檢測的升級選項
  • ‎100 %偏離控制
  • 與ODIN和THOR 機型相互結合


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